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苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司
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苏州气体管道-苏州珂锐弘扬流体-气体管道选择

发布时间:2020-08-25 02:26:05        






高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。








气路系统结构及工作原理

气压系统由空压机、干燥器、滤清器、自动排水器、防冻器及各类控制阀件组成,压缩空气经多级净化处理后,供底盘行驶及车上作业使用。

一. 结构特点 气压系统主要由以下组成: ? 压缩空气气源 ? 动力系统控制气路 ? 底盘气路 ? 绞车气路 ? 司钻控制 压缩空气气源整车共用,底盘气路和绞车气路均为相对***管路,并相互锁定;分动箱的动力操作手柄在切换发动机动力时,同时切换压缩空气气源,钻机车在行驶状态接通底盘气路,钻修作业接通绞车气路。当二者其一管路接通压缩空气气源时,另外一路则被切断压缩空气气源,确保设备操作安全,减少气路管线泄漏

二. 压缩空气气源 1. 空气压缩机,往复活塞结构,4缸V形排列;2台,分别安装在2台发动机右侧 前部,由曲轴端皮带轮驱动;强制水冷,润滑,冷却管线与发动机冷却水道相连,润滑管线与发动机润滑系统相连。 2. 调压阀,安装在空气压缩机缸体侧部,气体管道工程安装公司,调定控制气压系统空气压力,调定值0.8 ±0.05 MPa,当系统气体压力升高,气体管道材质,达到调定值时,调压阀动作发出气动信号,分两路,一路信号接通两台空气压缩机卸荷阀,顶开各气缸进气阀门,空压机置空负荷运转状态,停止向气压系统供气;另一路信号接通两台干燥器排泄口,干燥器储气室内的干燥空气迅速反向流动流,吸附干燥剂层的水份,气体管道选择,迅速排出干燥器体外,使其干燥剂再生。系统压力低于调定值,调压阀气信号消失,空压机卸荷阀复位,空压机重新进入正常工作状态,继续向系统供应压缩空气,同时,干燥器排泄口关闭,干燥器重新开始工作,吸附干燥系统压缩空气。








实验室气体管道工程概述

  气体管路:指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,苏州气体管道,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体,奥立龙在建设和设计实验室气路工程有丰富的项目经验,可以为广大客户完成安全***的实验室气体输送设计和建设。








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