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标准气体的应用

如何更好的使用标准气体， 是标准气体制造商关心的问题。通常在制备某些微量腐蚀性标准气体或微量氧，氮标准气体时，制备过程可谓是充满了血和泪， 而对于客户来说， 常常因使用不当，造成一些错误的结果、使用标准气体应该做到如下几点：

1、选择减压器和输气管路时，一定要注意材料和气体的相容性， 如在做微量氧，氮标准气体时， 管路不能选择塑料管和橡胶管路而要选择金属管路，特种气体厂， 而作腐蚀性气体时，山东特种气体，选择未经处理的金属管路会对组分产生吸附；

2、在合适的温度下存放气瓶， 对于易液化气体，要注意贮存温度和使用温度， 避免在低温下易也化气体成分液化；

3、取样前，对压力调***和管路系统充分清洗，确保取样样品和气瓶中的组份浓度一致；

4、标准气体取样完成后， 要关毕气瓶阀， 避免空气反扩散到气瓶中；

5、注意标准气体的有效期和允许使用压力。

1. ***品专车运输， 是厂家直接送货并有合格的押运员， 懂行的搬运工， 轻装轻卸。2. 瓶帽必须配戴好，电子特种气体， 避免在汽车急刹车及装卸过程中撞开瓶阀发生***， 特别是高纯氢等气的运输。3. 禁止高纯氧、空气和可燃气体混装。同时， 严禁烟火， 运输工具上应备有灭火器材。4. 夏季运输应有遮阳设施， 避免曝晒。5. 有专用气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射，特种气体行业， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的***标记(例如、、***等) 。

其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。

　　在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。

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