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高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，气体管道选择，在气体出口指标一定的情况下，气体管道种类，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，气体管道颜色，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气体管道怎么安装？

1.气瓶间 设计布局：

a) 气瓶间由于有特殊气体（高***性、高纯、易i燃易i爆），气体放置应按气体特性分开放置。并配置灭火器及报警装置，由易i燃易i爆气体单独放置，并做好接地防静电措施，为了安全起见建议采用报警i监控系统。

b) 气瓶连接处设立一级调压装置面板，其中气体供气分为单瓶或双瓶带隔膜阀吹扫及欠压控制装置，可实现对面板压力及管道吹扫排空清洗和控制，面板都为不锈钢材质。

c) 减压器及相关管件均需牢固的固定在一级调压装置面板上，面板应设计的紧凑而合理，以减少系统中的死体积，面板应采用全不锈钢材质制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全美观。

d) 气瓶间内存放的气瓶或者气瓶柜采用防倒链的气瓶支架固定，气瓶柜需带声光报警、自动排风装置，气瓶柜及支架为不锈钢材质坚固耐用、美观大方、安全可靠。

e) 气瓶间内的气体钢瓶与一级调压装置面板之间采用SS316L高压金属软管或者高压盘管连接无渗透，高压软管（盘管）为柔性软管，苏州气体管道，以保证连接的方便性；并自带防护钢缆，预防极端情况下钢瓶阀损坏等想象带来的高压“抽鞭”事故；

f) 高压软管上的钢瓶接头必需与对应的气体钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。

g) 面板出气端需安装阻火器或者单向阀，阻止气体回火及回流现象，材质均为不锈钢。

h) 如仪器设备对气体纯度要求结净度高，还需安装气体纯化器及过滤器，以保证终端使用气体的纯度。

i) 吹扫排空清洗管道应分类收集、固定牢固一并排放至室外安全地点。

气体管道安装

联接方法

管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法，由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定，主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。

螺纹联接

主要适用于小直径管道。联接时，一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。在1.6兆帕以上压力时，一般在管子端面加垫片密封。这种联接方法简单，可以拆卸重装，但须在管道的适当地方安装活接头，以便于拆装。

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